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德国MLase准分子激光器MLI 500 ARF

德国MLase准分子激光器MLI 500 ARF工作环境
ArF 准分子激光器通常被用于需要高能量、高分辨率和微米级别的精确度的应用领域

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-16
  • 访  问  量:1138
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品牌Mlase

德国MLase准分子激光器MLI 500 ARF工作环境

MLase是紫外光医疗和工业产品供应商。自2007成立以来,MLase一直致力于开发和生产创新型高质量激光和光系统,这是高度专业化的专家团队多年经验的结晶。MLase AG 为客户提供优质的产品,同时考虑到新的技术。MLase AG的质量管理符合ISO 13485:2016标准。

 

"ARF" 在激光技术中通常是指氩氟化物激光器,属于准分子激光器的一种。ArF 激光器使用氩氟化物(ArF)气体作为激光介质,通常在紫外光区域产生激光。

ArF 激光器的工作波长通常在193纳米附近,这个波长范围对于许多应用非常重要。例如,在半导体制造领域,ArF 激光器被广泛应用于光刻技术,用于将图形图案投影到半导体芯片上,以便进行微影和制造。

设计 ArF 准分子激光器需要考虑到氩氟化物的化学特性以及紫外光的高能量特性。工作环境对于ArF激光器同样也具有重要意义,通常需要保持在高度洁净、低振动、低温度变化和低湿度的条件下。

ArF 准分子激光器通常被用于需要高能量、高分辨率和微米级别的精确度的应用领域,比如半导体制造、激光微加工、科学研究等。

 

Mlase MLI 500 ARF准分子激光器

参数:ArF

波长(纳米):193

最大。重复率 (Hz)500

稳定的脉冲能量(mJ)6

稳定的脉冲功率(W)3,0

能量稳定性 (sigma, %)2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)6x3

光束发散(FWHMV x H mrad):2x1

脉冲持续时间(FWHM)(ns):5-10

 

型号示例:

Mlase准分子激光器MLI 500 ARF

Mlase准分子激光器MLI 500 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 KRF

Mlase准分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 ARF

Mlase准分子激光器MLI 1000 ARF

德国MLase准分子激光器MLI 500 ARF工作环境


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